El microscopi electrònic de rastreig (SEM) és un instrument capaç d’oferir un rang variat d’informacions procedents de la superfície de la mostra. El seu funcionament es basa a escanejar un feix d’electrons sobre una àrea de la grandària que vulguem (augments) mentre en un monitor es visualitza la informació que hem seleccionat en funció dels detectors que hi haja disponibles. Al Servei de Microscòpia de la UPV hi ha els següents:

Detector d’electrons secundaris (SE): és el que ofereix la típica imatge en blanc i negre de la topografia de la superfície examinada. És el senyal més adequat per a l’observació de la mostra perquè és la de més resolució.

Detector d’electrons retrodispersats (BSE): també ofereix una imatge de superfície encara que de menys resolució. L’avantatge consisteix que és sensible a les variacions en el nombre atòmic dels elements presents a la superfície. Si tenim una superfície totalment llisa observarem diferents tons de gris en funció que hi haja diverses fases amb diferents elements.

Detector de raigs X (EDS): és el que rep els raigs X procedents de cadascun dels punts de la superfície sobre els quals passa el feix d’electrons. Com que l’energia de cada raig X és característica de cada element, podem obtenir informació analítica qualitativa i quantitativa d’àrees de la grandària que vulguem de la superfície. Per això es coneix aquesta tècnica com a microanàlisi per EDS.

Detector de raigs X (WDS): semblant a l’anterior, però en lloc de rebre i processar l’energia de tots els raigs X alhora, únicament es mesura el senyal que genera un sol element. Això fa que aquesta tècnica, encara que més lenta, siga molt més sensible i precisa que la d’EDS. Realment són complementàries, ja que l’EDS ofereix una bona informació de tots els elements presents a la superfície de la mostra i el WDS és capaç de resoldre els pics d’elements les energies d’emissió dels quals es troben molt pròximes, així com detectar concentracions molt més petites de qualsevol element i, sobretot, dels lleugers.

Detector d’electrons retrodispersats difractats (BSED): en aquest cas només es reben els electrons difractats per la superfície de la mostra que compleixen la llei de Bragg en el punt que són generats, és a dir, es tracta d’un senyal que ens aporta informació de l’estructura cristal·lina de la mostra. Si coneixem prèviament la fase o les fases cristal·lines presents en la mostra, el sistema és capaç de processar el senyal que rep en forma de “línies de Kikuchi” i oferir una variada informació cristal·logràfica: orientació de grans, orientacions relatives entre aquests, textura, identificació de fases, avaluació de tensió, fronteres de gra, grandària de gra…