Detector de energía dispersiva de Rayos X, EDS (OXFORD INSTRUMENTS): recibe los Rayos X procedentes de cada uno de los puntos de la superficie sobre los que pasa el haz de electrones. Como la energía dispersada de los Rayos X es característica de cada elemento químico, proporciona información analítica cualitativa y cuantitativa de puntos, líneas o áreas seleccionadas en la superficie de la muestra. Esta técnica se conoce como Microanálisis por EDS.

El JEM-1400Flash incluye el detector EDS de Oxford Instruments, mod. Ultim Max TEM sin ventana, con un área de 80 mm² y todo el software necesario para el análisis elemental de las muestras: espectros, mapas, líneas y creación de informes de resultados